德州8英寸半導體級單晶硅片通線量產 硅片生產迎來“山東造”

齊魯網·閃電新聞10月16日訊  山東頭號重點項目——“集成電路用大尺寸硅材料規模化生產項目”一期工程,經過18個月的緊張施工建設,10月16日正式實現通線量產,填補了山東沒有硅片生產的空白。

16日,8英寸集成電路用硅片項目通線量產啓動儀式在德州經濟技術開發區舉行,實現量產後,德州將成為我國北方最大的半導體材料生產基地。

中國工程院院士屠海令説:“硅材料,是我們發展集成性半導體的最重要的一個基礎材料,通過跟德州的合作,將來對我們集成電路的發展一定有很好的促進和推動作用。”

硅片由高純度單晶硅拉制而成,直徑越大技術難度越大。8英寸硅片目前是芯片市場應用最廣的產品,以前70%依靠進口。該項目量產後,可實現年產276萬片,將極大彌補國內缺口。

山東有研半導體材料有限公司總經理張果虎介紹説:“我們這次把北京的全部專利技術團隊全部帶到山東來,比較短的時間實現了量產。一期按我們的建設目標,產值會在10億左右。”

“集成電路用大尺寸硅材料規模化生產項目”從立項開始就被確定為山東省2019年頭號重點項目,總投資達到80億元。為了加速項目落地,德州推行“雙線並行、模擬審批”機制,建設項目土地手續和項目規劃、施工手續同步辦理,實現“拿地即開工”。

德州市經濟技術開發區行政審批部副部長李愛軍説:“項目現在落地最大的堵點在於土地手續的辦理,現在我們最大的改革節點,提前到土地徵收批覆這個節點。因為徵收批覆到土地出讓這個時間大概有4到6個月的時間,所以我們充分利用這段時間進行了模擬審批。”

8英寸硅片生產工藝非常精密,缺陷尺度要控制在納米級,對生產條件的要求極為苛刻,車間設計相對複雜。對此,在模擬審批的基礎上,德州率先嚐試樁基工程和主體工程分開審批。

德州市經濟技術開發區行政審批部副部長李愛軍説:“在實施樁基工程審批以後,項目就可以進場施工了。這期間再完成主體工程的審批。這樣整體流程和環節就比較緊湊。”

整個審批環節,為項目節約落地時間4個多月,然而,項目建設關鍵期卻遭遇疫情。為了減少疫情影響,德州為項目建設開通“快速通道”,保工人返崗復工和建設材料供應,做到了疫情期間不停工。與此同時,針對項目生產特殊要求,德州對水、電、氣等基礎設施配套進行了全要素保障。專門為企業建設了35千伏專用變電站,實行雙迴路供電。

德州經濟技術開發區科技創新部部長趙興説:“提前進行人員的培訓,保障項目技術人員的支撐;在資金方面,市政府出台了集成電路產業的支持政策,我們與市區兩級融資平台積極對接,調度資金,保障對有研的資金和補貼及時到位。”

從立項到投產,8英寸半導體級單晶硅片項目只用了18個月,整整比預期提前了半年。有了龍頭企業帶動,目前德州正規劃建設270畝的半導體材料產業園區,推動半導體材料集羣式發展,預計年底將有4家企業入駐。

德州市政府黨組成員、 德州經濟技術開發區黨工委書記、管委會主任王震秀表示:“這樣的話應該講我們在最短的時間內,最有效的來解決我們整個產業鏈的延伸問題和產業集羣的問題。我相信我們整個德州市不光是在半導體材料產業層次上有所提高,而且是在我們整個經濟發展上會有一個快速的提升。”

閃電新聞記者 趙麗娜 伊力 劉伊霞 周樹茂 劉振  德州台 喬興華 李曉洋 德州報道

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